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深圳市諾林電子科技有限公司

Shenzhen Nuolin Electronic Technology Co.,ltd

LED曝光機的介紹說明

作者:諾林電子     瀏覽:2539     發表時間:2017-09-07 09:12:35 來源:原創

LED曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線,將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備.

[LED曝光機]即電子束曝光機是集電子光學,電氣,機械,真空,計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備.曝光機是20 世紀 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發展起來, 70 年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業.



LED曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線,將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備.曝光機即電子束曝光機是集電子光學,電氣,機械,真空,計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備.常見曝光機舉例:MYCRO美國制造的恩科優(N&Q)紫外曝光系統,適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電系統,凹凸或復晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用.




[LED曝光機]的工作原理:

在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學性質發生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域,從而在抗蝕劑上形成精細圖形.



操作簡便,曬版光源采用快啟動型高功率紫外線燈管,光強穩定均勻,紫外線光譜分布與印版的特性相吻合,輔以性能穩定的真空壓縮機系統,真空吸附,復原性能特佳,有效保證了曬版速度快,網版清晰.



可自動抽氣,自動曝光,自動計時.可連續曬網版.可用于曬印PS版,PNA版,不銹鋼版等各種板材的自動感光曬版設備.





原理:利用真空泵抽出室內空氣,使室內形成真空壓迫使印版與稿件緊貼向玻璃平面,然后在預定的曝光時間內光源對印版感光層進行曝光,曝光結束,自動放氣,曬版等來完成整個程序.



[LED曝光機]更廣泛的應用:

更廣范圍(UV,DUV,NUV)的紫外光波長選擇,出射光強范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光強或恒定功率模式.



廣泛應用于半導體,微電子,生物器件和納米科技領.常見曝光機舉例:MYCRO美國制造的恩科優(N&Q)紫外曝光系統,適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電系統,凹凸或復晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用.






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